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题名:
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单晶硅超精密加工技术仿真 dan jing gui chao jing mi jia gong ji shu fang zhen / 史立秋著 , |
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ISBN:
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978-7-111-65091-1 价格： CNY69.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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100页 图，照片 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2020 |
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内容提要:
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本书以材料力学、超精密加工等学科为理论基础，建立单晶硅超精密车削的有限元和分子动力学模型，优化切削参数以及刀具参数，解决传统研究中只能通过大量实验来确定最优工艺参数的弊端，降低实验成本，提高加工效率。 |
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主题词:
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硅 超精加工 |
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中图分类法:
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TQ127.2 版次： 5 |
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主要责任者:
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史立秋 shi li qiu 著 |
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附注:
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制造业高端技术系列 |