题名:
集成电路工艺与设备
/ 北京半导体器件二厂资料室译 ,
ISBN:
7- 价格： CNY0.80
语种:
chi
载体形态:
369页 18cm
出版发行:
出版地： 北京 出版社：
科学出版社
出版日期： 1974.7
主题词:
集成电路-生产工艺
参考资料
主题词:
集成电路-设备
参考资料
中图分类法:
TN4/ 版次： 4
主要责任者:
北京半导体器件二厂
编译
索书号:
TN4/4